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我國IC設計產業近年來不但成長快速,位居世界第二位,同時也是驅動我國半導體產業的重要成員之一,更有可能繼晶圓代工之後,成為全球市佔率第一的明星項目,因此其未來發展十分重要;本研究將以我國IC設計產業…
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在半導體製造的生產流程上,即時的品質量測和檢測在管制及改善良率上扮演著日趨重要的角色,特別是在先進的12吋晶圓廠上。因此在製程上,晶片層級的量測方法和缺陷檢測是急待突破的兩塊領域。本文針對量測問題提…